1985年	ドライ真空ポンプの開発スタート
1986年	ルーツ型ドライ真空ポンプ販売開始
1989年	ドライ真空ポンプ量産工場　V2工場完成
1991年	標準パッケージ機　A型発売開始
1994年	藤沢工場累計出荷台数1万台達成
1995年	省エネルギー形ドライ真空ポンプ　AA型発売開始
1997年	重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプ　AAS型発売開始
1998年	AA70Wが日刊工業新聞社　機械工業デザイン賞「日本産業機械工業会賞」受賞
2000年	AA型が日本機械工業連合会　平成11年度優秀省エネルギー機器「資源エネルギー長官賞」受賞
2003年	省エネルギー形ドライ真空ポンプESR型発売開始
2004年	重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプEST型発売開始 大流量排気用ルーツ型ポンプESA型発売開始
2007年	ESR型が日本機械工業連合会　平成18年度優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」受賞
2009年	省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-S型発売開始 空冷式小型ドライ真空ポンプPDV型発売開始
2011年	重負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-M型発売開始 藤沢工場累計出荷台数10万台達成
2012年	空冷式ドライ真空ポンプEV-A型発売開始
2013年	計測機器用省エネルギー形空冷式ドライ真空ポンプEV-SA型発売開始
2016年	軽中負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-L型発売開始
2018年	藤沢工場累計出荷台数15万台達成