공업 제품, 화학, 의료・바이오와 기초 과학 등 다양한 현장에서 다양한 분석 장치가 사용되고 있습니다. 고감도 및 고정밀도의 분석을 실현하려면 클린한 진공 환경이 반드시 필요합니다. 에바라의 드라이 진공 펌프는 우수한 클린 진공 환경을 구축할 수 있고 연구실이나 실험실에서도 사용하기 쉬운 소형・저소음・클린 배기 설계로 다양한 분석 기기에 사용되고 있습니다.
드라이 진공 펌프
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
EMT형/ EBT형
초고진공 대응 터보 분자 펌프
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
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