진공 챔버, 열 교환기 등의 냉매 운송 라인, 포장 용기 등 밀폐 용기의 Leak 검사를 하기 위해 다양한 업계에서 널리 사용되고 있습니다. 헬륨가스를 이용하므로 미량의 Leak나 미세한 결함도 안전하게 검출할 수 있습니다. 미량의 헬륨가스 Leak를 고정밀도로 검출하기 위해 진공 펌프가 사용됩니다. 에바라의 드라이 진공 펌프는 소형 설계로 운반이 쉬우며 기름이나 물을 사용하지 않는 클린 배기이므로 공장뿐 아니라 연구실・실험실 등 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다.
드라이 진공 펌프
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
EV-SA형
배기 속도5,000L/m까지 대응, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
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