열로 인한 대상물의 변질이 없고 건조 효율이 높은 진공 건조는 화학・공업 제품의 제조 공정에 널리 이용되고 있습니다. 리튬 이온 전지의 재료, 코일, 프린트 기판・액정 패널용 유리기판 등의 전자 부품, 금속 가공 부품, 금속과 같은 재료 등 다양한 제품의 제조 공정에서 진공 오븐 등의 진공 건조 장치가 이용됩니다.
에바라의 드라이 진공 펌프는 기름이나 물을 사용하지 않기 때문에 대상물을 오염시키지 않으며 풍부한 제품 라인업으로 소형 챔버부터 대형 챔버까지 다양한 건조 공정에 대응합니다.
드라이 진공 펌프
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프
정밀 전자 사업에 관한 문의 거점 소개
문의 양식
정밀 네트워크