여기서 소개하는 칠러는 주로 반도체 제조 장비나 FPD 제조 장비의 냉각용 부대설비로 사용됩니다. 스패터링, 에칭 공정에서 스테이지 냉각 등의 온도 컨트롤에 사용되며, 정밀도 높은 온도 안정성이 요구됩니다.
고도의 정보화 사회가 급격히 진행되는 가운데, 메모리의 적층 수 증가, 가공 정밀도의 고정밀도화라는 요구에 대해 반도체 제조 공정의 고부하화가 진행되어 장비 대수, 장비 1대당 챔버 수, 제조 장비의 부대 기기대수도 증가하고 있습니다. 최근에는 소형이면서 고출력으로 공간을 효율적으로 이용할 수 있는 칠러의 수요가 점점 많아지고 있습니다. 게다가 지구 온난화가 진행되고 그 대책으로 프레온의 규제가 엄격해지는 가운데, 친환경 제품의 요구도 많아지고 있습니다.
특징
1.소형, 고출력, 고정밀도
2.친환경 저GWP*냉매
3.팬이 없는 수랭식
*Global Warming Potential 지구 온난화 계수
에바라 칠러의 강점
소형·고정밀도·친환경 반도체 제조 장치용 칠러
에바라의 칠러는 소형·고출력·고정밀도를 특징으로 다양한 분야에서 사용될 것을 예상하고 있습니다.
에바라의 독자적인 소형 펌프 SSPD형을 사용하여 공간 절약을 실현했습니다. 소형 설계이면서 고출력으로 한정된 공간에서의 유연한 레이아웃이 가능하고, 정밀 온도 제어를 통해 프로세스 안정성을 향상할 수 있습니다.
저GWP를 사용하고 있어 환경 부하가 낮고, 만일의 누출 시 리스크를 경감합니다.
저온 냉각에 의한 냉각 시간의 단축으로 수율 향상에 기여합니다.
관련 애플리케이션
에바라의 냉동기는 터보 냉동기와 흡수식 냉동기 등 열원기 분야에서 일본의 냉열 기술을 이끌어 왔습니다. 이 배양된 냉열 기술을 활용하여 반도체 제조의 냉각 공정에도 기여합니다.
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