컴퓨터, 스마트폰, 가전제품, 차량, 의료기기 등 반도체 기술은 일상생활에 꼭 필요한 다양한 디바이스의 핵심 기술입니다. 점차 정밀화되는 반도체 제조 공정에서는 가공 장치에도 나노미터 단위의 가공 정밀도가 요구되고 있습니다. 다양한 첨단 기술의 조합으로 제조된 고정밀도 가공 장치가 반도체의 발전을 뒷받침하고 있습니다.
에바라의 반도체 제조 장치는 최첨단 기술과 확실한 신뢰성으로 반도체 제조의 생산성 향상에 기여하고 있습니다. 독자적인 구조로 높은 가동률 및 높은 Throughput을 실현한 CMP 장비, 고성능의 연마 및 제거가 가능하여 Flexible한 Bevel 연마 장비, 높은 Throughput 및 장치 구성이 유연한 도금 장비를 라인업하고 있으며 최첨단 기술력과 안심할 수 있는 지원 체제로 반도체 기술의 발전을 뒷받침하고 있습니다.
에바라의 반도체 제조 장치의 사용 예를 소개 드립니다.
반도체 디바이스 제조
컴퓨터, 스마트폰, 가전제품, 차량, 의료기기 등의 반도체 디바이스
용도 사례 일람
F-REX300XA형
에바라 역사상 최고의 생산 효율, 고신뢰성 CMP 장비
F-REX형
고가동률 및 고 Throughput 으로 높은 생산성을 실현
EAC형
고정 연마입자로 높은 연마・제거 성능, Edge Control 기능
UFP600AS형
고 Throughput, 고속 도금과 우수한 면 내 균일성을 양립
반도체 제조 장치 제품 목록
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