드라이 진공 펌프란 밀폐에 오일이나 액체를 사용하지 않는은 비접촉형 진공 펌프입니다. 물이나 오일이 역류하거나 확산하지 않아 깨끗한 진공 상태로 만들 수 있습니다. 또한, 물이나 오일의 보충 및 교환 등 정기 유지보수가 필요 없어 취급이 매우 용이한 펌프입니다.
청정도가 중시되는 반도체 디바이스 제조 공정, FPD・LED・태양전지 제조 공정에 반드시 필요한 펌프입니다. 최근에는 질량분석계나 전자현미경 등의 분석 장비 사용 시 손쉽게 깨끗한 배기가 가능하다는 점에서 사용이 확대되고 있습니다. 또한, 깨끗한 진공과 편리한 유지보수로 인해 진공 건조 공정, 성막 공정 등 다양한 용도로 도입되고 있습니다.
에너지 절약・소형이 특징인 에바라의 드라이 진공 펌프는 다양한 분야에서 활약하고 있습니다.
독자적인 설계로 최적화한 로터가 압축 효율은 향상하고 소비전력은 낮추었습니다. 소형・경량 설계로 제한된 공간에도 설치할 수 있으며 이설도 용이합니다. 세계 시장에서 누적 20만 대 이상*의 출하 실적을 자랑하며, 성능과 신뢰성 요구가 엄격한 반도체 업계를 중심으로 다양한 분야에서 활약하고 있습니다. 또한, 세계 50곳 이상의 서비스 거점을 통해 해외에서도 안심하고 사용하실 수 있도록 지원하고 있습니다. 업계 최고 수준의 소형・경량 모델, 수소 배기 모델, 반응성 부생성물이 발생하는 프로세스에 대응한 고부하 대응 모델 등 풍부한 라인업에서 최적의 1대를 이용하실 수 있습니다.
*2020년 9월 현재
지금까지 에바라의 드라이 진공 펌프는 주로 반도체 디바이스 제조의 발전과 함께 기술 혁신을 이루어 왔습니다.
최근에는 반도체 이외의 산업 분야에서도 활약의 장을 넓혀가고 있습니다.
반도체 디바이스 제조
컴퓨터, 스마트폰, 가전제품, 차량, 의료기기 등의 전자 반도체 디바이스
분석
질량분석계, 기체 크로마토그래피, 전자현미경, 분광기
Leak Test
의약품 패키지, 열교환기, 산업용 진공 가공기 등의 Leak Test
코팅
마모 방지, 표면 강화, 렌즈 보호막 등
용도 사례 일람
EV-X형
폭넓은 프로세스 운용으로 CoO 절감, 에너지 절약
EV-M형
에너지 절약 및 고부하 프로세스에 최적인 드라이 진공 펌프
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
EST형
반응 부생성물 대응, 대유량 가스 배기가 가능한 드라이 진공 펌프
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