오존수 제조 장치란, 물에 오존(O₃)을 용해하여 오존수를 제조(생성)하는 장치입니다.
오존수에는 강력한 산화력이 있어 유기물・금속 불순물을 제거하기 위한 재료 표면의 산화막 형성은 물론, 살균, 표백, 탈취 등의 용도로도 이용되고 있습니다.
오존수는 시간이 지나면 물과 산소로 분해되어 원래대로 되돌아가기 때문에 잔류성도 없고 약액처럼 대규모의 폐액 처리가 필요 없어 친환경적이며 안전하게 이용할 수 있습니다.
제품의 제조 공정에서 세정 용도, 재료의 산화나 친수화(親水化) 등의 표면 처리 용도에 더해의료, 식품 등 다양한 업계에서 이용되고 있습니다.
최근에는 안전성과 환경 부담을 줄이기 위해 농황산 등의 약액 대신 오존수를 도입하는 경우가 많아졌습니다.
에바라제작소의 오존관련제품은 초고농도의 오존 가스 생성이 가능한 Ozonizer와 오존수 제조 장치를 라인업하고 있습니다. 초고농도 Ozonizer, 저오염 가압 펌프와 독자적인 오존 가스 용해 노하우가 조합된 오존수 제조 장치는 농도 125mg/L의 고농도 오존수를 제조하여 높은 농도 안전성과 유량 안전성이 특징으로, 고효율 및 안정적인 프로세스 처리를 실현할 수 있습니다.
또한, 오존수 유량을 변경할 수 있는 On-Demand 기능이 탑재되어 있어 프로세스에 맞게 필요한 양의 오존수를 공급함으로써 러닝 코스트를 줄일 수 있으며, Footprint 절감 설계로 한정된 공간에도 쉽게 설치할 수 있습니다.
높은 청정도가 요구되는 반도체・액정 제조 공정 외에 화학 재료, 기타 제조 공정의 가공 프로세스 등 다양한 분야에서 도입되고 있습니다.
지금까지 에바라의 오존수 관련 기기는 주로 전자 반도체 디바이스 제조의 발전과 함께 기술 혁신을 이루어 왔습니다.
에바라의 오존 관련 기기의 사용 예를 소개 드립니다.
반도체제조
컴퓨터, 스마트폰, 가전제품, 차량, 의료기기 등의 전자 반도체 디바이스
용도 사례 일람
OZC형
초고농도 오존가스 생성 가능, 소형 오존가스 발생기
OZW형
높은 농도 안정성과 유량 안전성을 갖춘 오존수로 고효율의 안정적인 프로세스 처리를 실현
오존 관련 제품 목록
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