플렉시블 구성
설치 부하 절감
공간 절약
일괄 조작・관리 가능
펌프 연결 대수: 1~8대
드라이 진공 펌프+배출가스 처리 장치 일체형 시스템은 당사 드라이 진공 펌프와 배출가스 처리 장치의 통합 제품입니다. 고객의 생산 효율을 최대화할 수 있는 시스템을 제안합니다. 요건에 맞게 최적의 드라이 진공 펌프를 배출가스 처리 장치와 조합하여 설비 설치 부하를 절감. 통합 배기 시스템으로 일괄 조작・일괄 관리가 가능하여 고효율 프로세스를 실현합니다.
EV-M형
에너지 절약 및 고부하 프로세스에 최적인 드라이 진공 펌프
TND형
저NOx 및 풍부한 반응 부생성물 대책으로 유지보수 비용 절감, 연소식 배출가스 처리 장치
G5형
가연성 가스 및 지구 온난화 가스(PFCs 가스)를 고효율 처리, 연소식 배출가스 처리 장치