자기 부상 타입/볼 베어링 타입
※韓国語未翻訳 : お問い合わせ
340~4,200L/min까지 폭넓은 배기 속도에 대응, 컨트롤러 일체형과 수랭/공랭 방식 중 선택이 가능합니다.
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
EV-SA형
배기 속도5,000L/m까지 대응, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프