대형 진공 챔버 고속 배기 대응
유기용제 대응 옵션
수소 등 가벼운 가스의 배기
내부식성 재료 옵션
오일 프리
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
ESA형 수소 등 가벼운 가스의 배기에 적합한 배기량 1,400L/min~10,000L/min 모델, 대형 챔버의 고속 배기에 적합한 배기량 20,000L/min~80,000L/min 모델이 라인업되어 있습니다. 가벼운 가스 배기에 적합한 10,000L/min 이하의 모델은 콤팩트 설계로, 내부식성 재료를 옵션으로 선택할 수 있으며 MO-CVD 등 가벼운 가스의 대유량 배기 용도에 최적합합니다.. 대형 모델은 배기량이 크면서도 저소음・저진동을 실현하며 유기용제 배기용 옵션도 선택할 수 있어 LCD Sputter 장치・진공 건조 프로세스・대형 Load-lock 등에 최적합합니다.
| 기기명 | 단위 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
| 배기 속도 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | |
| 1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | |||||||||
| 도달 압력 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | |||||||||||
| 접속구경 | 흡기구 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 배기구 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | |
| 3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | ||||||||
| 냉각수 | 유량 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 온도 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 유량 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 전원 상/전압/주파수 | 200V 모델 | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz |
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| 400V 모델 | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz |
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| 460V 모델 | 3상/440V/50Hz 3상/440-480V/60Hz |
3상/440V/50Hz 3상/440-480V/60Hz |
3상/440V/50Hz 3상/440-480V/60Hz |
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| 전원 용량 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.0 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 개략 질량 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
ESR형
부식성 프로세스 대응, 에너지 절약을 위한 드라이 진공 펌프
EV-S형
에너지 절약 및 공간 절약을 위한 드라이 진공 펌프
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
드라이 진공 펌프・배출가스 처리 장치 일체형 시스템
챔버 배기・배출가스 처리 프로세스의 최적화가 가능, 통합・관리 비용 절감