기기명		단위	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W(N)
배기 속도		L/min	1,300 ~ 2,000	3,000	3,000	46,000
도달 압력		Pa	2.0	0.53	0.67	0.2
접속구경	흡기구		NW40	NW50	NW50	ISO160
	배기구		NW40	NW40	NW40	NW40
도달 압력 시 전력 개략 시		kW	0.7	1.7	1.7	3.1
냉각수	유량	L/min	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
	온도	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	유량	Pa•m3/s	19~22 (0)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)
전원　상/전압/주파수	200V 모델		3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz
	400V 모델		3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz
전원 용량		kVA	4.0	7.0	7.0	12.3
개략 질량		kg	90	190	190	500