기기명		단위	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
배기 속도		L/min	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
도달 압력		Pa	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
접속구경	흡기구		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
	배기구		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
도달 압력 시 전력 개략 시		kW	2.3	3.0	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
냉각수	유량	L/min	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	온도	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	유량	Pa•m3/s	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
전원　상/전압/주파수	200V 모델		3상/200-220V,50/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz	3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz
	400V 모델		3상/380-440V,50/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz	-
전원 용량		kVA	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16.0
개략 질량		kg	260	300	380	430	500	550	840