에너지 절약
소형・경량
Air-cooled
단상 100V-240V 전원에서 사용 가능
실(seal) 교환이 필요 없어 수명이 길다
저소음
오일 프리
다른 주파수(50/60Hz)로 동일한 성능
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
EV-PA형은 소형・경량・에너지 절약의 Air-cooled type 드라이 진공 펌프입니다. 냉각수가 필요하지 않으며 필요한 유틸리티는 전원뿐, 단상 100V-240V 전원으로 사용할 수 있습니다.소형・경량의 포터블 설계로 한정된 공간에도 설치가 가능합니다. 또한, 비접촉식 실(seal) 채택으로 실(seal) 교환이 필요 없어 수명이 깁니다. 각종 분석 용도 외에 Portable Leak Detector 나 이설을 반복하는 연구・실험 용도에 최적합합니다.
기기명 | 단위 | EV-PA250 | EV-PA500 | |
배기 속도(가스 밸러스트 시) | L/min | 230 (200) | 500 (430) | |
도달 압력 | Pa | 0.5 (2.0)* | 0.5 (2.0)* | |
접속구경 | 흡기구 | NW25 | NW25 | |
배기구 | NW25 | NW25 | ||
도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 0.24 (0.38) | 0.27 (0.6) | |
냉각 방식 | 공랭 | 공랭 | ||
전원 | 정격 전압 50/60Hz | 단상 100-230V | 단상 100-230V | |
허용 전압 변 | ±10% | ±10% | ||
전원 용량 | kVA | 0.45 | 0.66 | |
개략 질량 | kg | 16 | 21 | |
*가스 밸러스트 시 |
EV-SA형
배기 속도5,000L/m까지 대응, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
EMT형/ EBT형
초고진공 대응 터보 분자 펌프
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프