에너지 절약
소형・경량
내부식성 재료 옵션
N2 Purge모델 선택 가능
다른 주파수(50/60Hz)로 동일한 성능
오일 프리
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
독자적인 로터 설계와 Idling 기능으로 세계 최고 수준의 에너지 절약 및 소형화를 실현. 러닝 코스트 절감에 기여합니다. 또한, 내부식성 재료를 옵션으로 선택할 수 있어 Load-lock・SEM 등의 경부하 용도부터 부식성 프로세스까지 다양한 용도에 대응 가능합니다.
기기명 | 단위 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
배기 속도 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
도달 압력 | Pa | 3.0 | 5.0 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
접속구경 | 흡기구 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
배기구 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
냉각수 | 유량 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
온도 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 유량 | Pa•m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
전원 상/전압/주파수 | 200V 모델 | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200-220V,50/60Hz | |
400V 모델 | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | - | - | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-440V,50/60Hz | ||
전원 용량 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
개략 질량 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
※사양은 예시입니다. 기종에 따라 다른 경우가 있으므로 자세한 사항은 문의하시기 바랍니다. ※기재되어 있지 않은 사양은 문의하시기 바랍니다. |
ESA형
수소 등의 가벼운 가스 배기 대응/대형 챔버의 고속 배기 대응 가능한 드라이 진공 펌프
EV-SA형
배기 속도5,000L/m까지 대응, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
드라이 진공 펌프・배출가스 처리 장치 일체형 시스템
챔버 배기・배출가스 처리 프로세스의 최적화가 가능, 통합・관리 비용 절감