에너지 절약
소형・경량
Air-cooled
저소음
오일 프리
다른 주파수(50/60Hz)로 동일한 성능
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
EV-SA형은 냉각수가 필요 없는 소형・Air-cooled type 드라이 진공 펌프입니다. 자유자재로 설치 가능한 소형 설계이면서 배기 속도 최대 5000L/min의 대배기량 모델을 라인업. 필요한 유틸리티는 전원뿐이고 에너지 절약 및 저소음이 특징이기 때문에 생산 공장뿐만 아니라 실험실이나 연구실 등 다양한 환경에서 사용하실 수 있습니다. 각종 분석 기기나 전자 현미경 등 깨끗한 배기 용도에 최적합합니다.
기기명 | 단위 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |
배기 속도 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |
도달 압력 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |
접속구경 | 흡기구 | NW40 | NW40 | NW50 | |
배기구 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |
냉각 방식 | 공랭 | 공랭 | 공랭 | ||
전원 | 정격 전압 50/60Hz | 단상 200-240V 3상 200-240V |
단상 200-240V 3상 200-240V |
단상 200-240V 3상 200-240V |
|
허용 전압 변동 | ±10% | ±10% | ±10% | ||
전원 용량 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |
개략 질량 | kg | 65 | 90 | 150 | |
*가스 밸러스트 시 |
EV-A10형
대기 처리에 최적, 소형 공랭 드라이 진공 펌프
EV-PA형
소형·경량, 에너지 절약 공랭 드라이 진공 펌프
EMT형/ EBT형
초고진공 대응 터보 분자 펌프