중부하 프로세스 대응
고온화 제어 대응
에너지 절약
내부식성 재료 표준 채택
내부식성 향상 옵션
다른 주파수(50Hz/60Hz)로 동일한 성능 오일
오일 프리
CE 마킹/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
풋프린트 절감
에바라만의 에너지 절약 기술을 탑재하고 자동화 공장에서의 제조에 최적화된 모듈 설계를 채택하여 소형화와 에너지 절약 능력을 한층 더 강화한 중부하 프로세스용 드라이 진공 펌프입니다.
와이드레인지 온도 제어로 적용 프로세스를 확대. 여러 프로세스를 동일한 기종으로 다룰 수 있으므로 Spare Pump 재고의 최적화, Maintenance와 트레이닝에 드는 수고를 줄여 향후의 프로세스 확장에도 유연하게 대응할 수 있습니다. 또한, 프로세스별 최적 온도로 컨트롤하여 프로세스 내성 향상을 실현하고, 부품의 교체 주기 장기화로 TCoO의 절감에 기여합니다.
대응 애플리케이션 예: 각종 에칭 및 CVD, 애싱, 이온 주입, 에피택셜 성장 등
EV-S형
에너지 절약 및 공간 절약을 위한 드라이 진공 펌프
EV-M형
에너지 절약 및 고부하 프로세스에 최적인 드라이 진공 펌프
EST형
반응 부생성물 대응, 대유량 가스 배기가 가능한 드라이 진공 펌프
드라이 진공 펌프・배출가스 처리 장치 일체형 시스템
챔버 배기・배출가스 처리 프로세스의 최적화가 가능, 통합・관리 비용 절감