기기명	단위	FDS100S	FDS250
처리 방식		건식	건식
반응조 개수		1	2
반응조 교환 검지		표준 : 하중계 옵션 : PFC 검지기	표준： PFC 검지기
최대 유입 가스 허용량	L/min	100L/min	250L/min
치수	W x D x H mm	600×600×2,000mm	1,605×1,000×2,507
처리제 수명	L/개	CF4 : 3,000	CF4 : 10,000
처리 대상 가스		CF4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3 등	CF4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3 등