기기명	단위	G6 A1~A4	G6 P1~P4
처리 방식		연소식+습식	연소식+습식
최대 유입 가스 허용량	L/min	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
연료		도시가스	프로판가스
치수	W x D x H mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
처리 가능 가스 예		프로세스(디포지션)가스 SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6, H2 , PH3, Si3H8 등 클리닝가스 전반 NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2 등 에칭가스 전반 HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6 등	프로세스(디포지션)가스 SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6, H2 , PH3, Si3H8 등 클리닝가스 전반 NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2 등 에칭가스 전반 HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6 등
표준 장비품		대유량 NF3 처리 버너	대유량 NF3 처리 버너