기기명 단위 G6-E A1~A4 G6-E P1~P4
처리 방식 연소식+습식 연소식+습식
최대 유입 가스 허용량 L/min 400 400
연료 도시가스 프로판가스
치수 W x D x H mm 1,200×650×1,900mm 1,200×650×1,900mm
H₂ 최대 처리 가능 유량 L/min 200 200
처리 가능 가스 예 프로세스(디포지션)가스
H2, PH3, Si3H8, SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6 등
클리닝가스 전반
NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2 등
에칭가스 전반
HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6 등		 프로세스(디포지션)가스
H2, PH3, Si3H8, SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6 등
클리닝가스 전반
NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2 등
에칭가스 전반
HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6 등
표준 장비품 대유량 H2 처리 버너 대유량 H2 처리 버너
분체 제거용 버너 스크레이퍼 분체 제거용 버너 스크레이퍼
옵션 상수·배수 사용량 절감 유닛 상수·배수 사용량 절감 유닛
분체 배출 저감용 팬 스크러버 분체 배출 저감용 팬 스크러버