기기명	단위	GCR120*	GCR250
처리 방식		촉매식+습식	촉매식+습식
최대 유입 가스 허용량	L/min	120	250
반응조 교환 검지		PFC 검지기	PFC 검지기
치수	W x D x H mm	1,200×600×1,800mm	1,400×700×1,850mm
처리 가능 가스		CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, HF, F2, SiF4, CO, COF2, N2O 등	CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, HF, F2, SiF4, CO, COF2, N2O 등
*판매 수량 제품