기기명	단위	GTE-3-0	GTE-0-2	GTC-1-0	GTC-2-0	GTC-6-0	GTC-0-1
처리 방식		건식	건식	건식	건식	건식	건식
처리 가능 가스		HBr, Cl2, BCl3, F2, SiF4, HF, COF2, C5F8, C4F6 등	NF3, N2O, NO, NO2, SiF4, HF, F2 등	SiH4, PH3, AsH3, TMS 등	NH3, SiH2Cl2, SiCl4 등	TEOS, TMB, TME, O3 등	ClF3, HF, F2, HCl 등
최대 유입 가스 허용량	L/min	100	80	100	100	100	100
치수 Single	W x D x H mm	600x600x2,000	900x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000
Dual	W x D x H mm	900x600x2,000	-	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000