형식		단위	G-WS1000
최대 처리 풍량		L/min	1,000
접속 유입구 수			4
외형 치수		mm	W914×D736×H1,727
용력	수량	L/min	1 - 10
	배수량	L/min	1 - 10
	질소	L/min	15-50
	전원		1.8-3.5kW, 3상 AC 200V(50/60Hz)
	배기 덕트(처리 완료 가스)		1.5
	배기 덕트(케이스 배기)	m3/min	1.3
주요 처리 가능 가스	Epi		HCl, DCS
	CVD		WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2*
	Etching		BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2*
	Asher		NH3
습식으로는 처리할 수 없는 가스			H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc.
*처리 시 문의해 주십시오