초고농도 오존을 안정적으로 공급
대유량 오존 생성
청정 오존
오존 Leak Sensor 표준 탑재
OZC형은 10vol％ 이상의 초고농도·대유량 오존가스를 안정적으로 생성할 수 있는 오존발생기입니다. 오존가스와 플라즈마에 내성이 있는 재료를 채택하여 청정한 오존가스 발생과 긴 수명화를 실현. 단위 면적당 오존가스 발생량을 비약적으로 증가시켜서 오존발생기의 소형화를 달성했습니다. 오존가스 검지기 등 안전기기가 표준 장착되어 있고 장치에 이상이 발생했을 때 안전하게 정지시키는 안전회로도 탑재되어 있습니다.
높은 농도 안정성과 유량 안전성을 갖춘 오존수로 고효율의 안정적인 프로세스 처리를 실현