고농도・대유량 오존수 공급
불순물이 적은 오존수
높은 농도・유량 안정성
높은 신뢰성・조작이 용이
SEMI/CE 마크 대응 가능
OZW형은 높은 농도 안정성과 유량 안정성을 지닌 오존수를 공급할 수 있는 오존수 제조 장치입니다. 저오염 가압 펌프와 독자적인 오존가스 용해 노하우를 채택하여 불순물이 적은 오존수 생성이 가능. 오존수 농도를 상시 계측하고 피드백 제어함으로써 오존수 농도를 안정적으로 유지할 수 있습니다. 또한, 세정 장치와 연동할 수 있도록 운전 신호, 인터록 신호 회로가 내장되어 있습니다. 유지보수도 용이합니다. 오존가스 검지기, 오존가스 무독화 촉매 등 안전기기가 장착되어 있고 장치에 이상이 발생했을 때 안전하게 정지시키는 안전회로도 탑재되어 있습니다.
초고농도 오존가스 생성 가능, 소형 오존가스 발생기