工業製品、化学、医療・バイオや基礎科学など、様々なフィールドで様々な分析装置が使用されています。高感度かつ高精度な分析を実現するためには、クリーンな真空環境が欠かせません。荏原のドライ真空ポンプは、高度なクリーン真空環境の構築が可能、かつ研究室や実験室でも使いやすい小型・静音・クリーン排気設計で、様々な分析機器に使用されています。
ドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
EMT型/ EBT型
超高真空対応ターボ分子ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
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