工具・刃物のハードコーティング、車載部品の摩擦軽減コーティング、包装材の遮光・抗酸化コーティング、めがね・ガラス・産業用光学部品の光学コーティング、時計など服飾製品の装飾膜など、様々な産業でコーティング工程が広く用いられています。高品質なコーティングにはクリーンな真空環境が欠かせません。荏原のドライ真空ポンプは、クリーンな真空環境の構築に加え、油や水を使用しないクリーン設計で、煩わしいメンテナンスや管理の手間を低減します。
ドライ真空ポンプ
EV-S型
省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
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