化学・材料、電子部品など様々な製品の製造工程で有害ガスが発生します。排ガス処理装置は、燃焼式、触媒式など様々な方式を用いて有害ガスを無害化する装置です。近年は、環境保護の視点から、排ガス処理装置の需要が高まっています。
荏原の排ガス処理装置は、複数の可燃性ガスを一括で高効率処理可能な燃焼式、燃料不要・排水処理不要の乾式など、処理対象ガスや使用環境に合わせた豊富なラインナップで、半導体製造を始め様々な産業で活躍しています。
排ガス処理装置
TND型
低NOxかつ豊富な反応副生成物対策でメンテナンスコスト削減、燃焼式排ガス処理装置
G5型
可燃性ガス・地球温暖化ガス（PFCsガス）を高効率処理、燃焼式排ガス処理装置
FDS型
排水処理不要でPFCsガスの高効率安全処理、乾式排ガス処理装置
GT型
排水処理不要でヒ素・リンなどの有毒物質処理、乾式除害装置
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