放射光は、生命科学・宇宙科学などの基礎科学から、医療・バイオ・工業製品などの産業分野まで、様々な分野の研究開発に用いられています。放射光を発生させるための加速器、蓄積リング、放射光を試料まで運ぶためのビームラインには、高真空～超高真空が使用されます。荏原のドライ真空ポンプは、排気が難しい軽ガスにも優れた排気性能を有し、超高真空を作り出すためのターボ分子ポンプのバックポンプに最適です。
ドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
EMT型/ EBT型
超高真空対応ターボ分子ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
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