熱による対象物の変質がなく乾燥効率が高い真空乾燥は、化学・工業製品の製造工程で広く利用されています。リチウムイオン電池材料、コイル、プリント基板・液晶パネル用ガラス基板などの電子部品、金属加工部品、金属等の材料など、様々な製品の製造工程で真空オーブンなどの真空乾燥装置が用いられます。
荏原のドライ真空ポンプは、油や水を使用しないため対象物の汚染がなく、豊富な製品ラインナップにより小型チャンバ～大型チャンバまで様々な乾燥工程に対応可能です。
ドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
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