*Global Warming Potential(地球温暖化係数)
半導体製造
コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器などの半導体デバイス
分析
質量分析計、電子顕微鏡、分光器、紛級器など
アプリケーション一覧
RJ-XA型
低GWP冷媒の採用で環境規制に対応したチラー。省エネ・省スペース化を実現
RJ-CA型
自然冷媒(CO₂)を採用した低温チラー。省エネ・省スペース化を実現
EV-X型
幅広いプロセスカバレッジ＆省フットプリントを追求したドライ真空ポンプ
冷凍機・冷却塔
工場空調やユーティリティ水の冷却等に活用いただける中・大型冷却機器
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