オゾン水製造装置とは、オゾン（O₃）を水に溶解させることで、オゾン水を製造（生成）する装置です。オゾン水は強力な酸化力を有しており、有機物・金属不純物を除去するための洗浄、材料表面の酸化膜形成の他、殺菌、漂白、脱臭などの用途に利用されます。オゾン水は時間の経過により水と酸素に分解するため、残留性もなく、薬液のような大規模な廃液処理の必要がなく、環境に優しく利用可能です。製品の製造工程における洗浄用途、材料の酸化や親水化などの表面処理用途に加え、医療、食品などさまざまな業界で利用されています。
近年は安全性や環境負荷低減の観点から、濃硫酸など薬液からの置き換えとしてもオゾン水の導入が進んでいます。
荏原のオゾン関連製品は、超高濃度オゾンガスを生成可能なオゾナイザとオゾン水製造装置をラインナップしています。超高濃度オゾナイザ、低汚染加圧ポンプと独自のオゾンガス溶解ノウハウを組み合わせたオゾン水製造装置は、濃度125mg/Lの高濃度オゾン水を製造、高い濃度安定性と流量安定性を特長としており、高効率かつ安定的なプロセス処理を実現することが可能です。
さらに、オゾン水流量を変更可能なオンデマンド機能を搭載し、プロセスに合わせて必要な量のオゾン水を供給することでランニングコストを低減、省フットプリント設計で限られたスペースにも設置が容易です。
高い清浄度が求められる半導体・液晶製造工程のほか、化学材料、その他製造工程における加工プロセスなどの分野で導入が進んでいます。
荏原のオゾン水関連機器は、これまで主に電子半導体製造の発展に合わせ技術革新を進めてきました。
荏原のオゾン関連機器の利用例をご紹介します。
半導体製造
コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器などの半導体デバイス
アプリケーション例一覧
OZC型
超高濃度オゾンガス生成可能、小型オゾンガス発生器
OZW型
高い濃度安定性と流量安定性をもったオゾン水で、高効率かつ安定的なプロセス処理を実現
オゾン関連製品の製品一覧
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