フレキシブル構成
設置負荷低減
省スペース
一括操作・管理可能
ポンプ接続台数：1～8台
ドライ真空ポンプ＋排ガス処理装置 一体型システムは、当社ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の統合製品です。お客様の生産効率を最大化するシステムを提案します。要件に合わせて最適なドライ真空ポンプを排ガス処理装置に組み込むことで、設備設置負荷を低減。統合排気システムとして一括操作・一括管理が可能で、高効率プロセスを実現します。
EV-M型
省エネルギー・高負荷プロセスに最適なドライ真空ポンプ
TND型
低NOxかつ豊富な反応副生成物対策でメンテナンスコスト削減、燃焼式排ガス処理装置
G5型
可燃性ガス・地球温暖化ガス（PFCsガス）を高効率処理、燃焼式排ガス処理装置