ターボ分子ポンプ
磁気浮上タイプ／玉軸受タイプ
小型・軽量
コントローラ一体型選択可能
空冷／水冷選択可能
ネットワーク接続対応
高温／耐食仕様オプション
取り付け姿勢自由
CEマーキング／SEMI S2/ NRTL対応
磁気軸受型のEMT型、玉軸受型のEBT型の2種類のターボ分子ポンプをラインナップ。340~4,200L/minまでの幅広い排気速度に対応、コントローラ一体型や水冷／空冷方式の選択が可能です。高温仕様、耐食仕様、反応副生成物対応、低振動など様々なオプションをラインナップし、幅広い用途に柔軟に対応可能です。
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
EV-SA型
排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ