型式		単位	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W(N)
排気速度		L/min	1,300 ~ 2,000	3,000	3,000	46,000
到達圧力		Pa	2	0.53	0.67	0.2
接続口径	吸気口		NW40	NW50	NW50	ISO160
	排気口		NW40	NW40	NW40	NW40
到達圧力時電力概略値		kW	0.7	1.7	1.7	3.1
冷却水	流量	L/min	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	19~22 (0)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)
電源　相／電圧／周波数	200Vモデル		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
	400Vモデル		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
電源容量		kVA	4	7	7	12.3
概略質量		kg	90	190	190	500