型式		単位	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
排気速度		L/min	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
到達圧力		Pa	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
接続口径	吸気口		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
	排気口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達圧力時電力概略値		kW	2.3	3	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷却水	流量	L/min	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
電源　相／電圧／周波数	200Vモデル		3相/200-220V,50/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
	400Vモデル		3相/380-440V,50/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-
電源容量		kVA	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16
概略質量		kg	260	300	380	430	500	550	840