型式		単位	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
排気速度		L/min	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
到達圧力		Pa	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
接続口径	吸気口		NW40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
	排気口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達圧力時電力概略値		kW	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷却水	流量	L/min	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源　相／電圧／周波数	200Vモデル		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
	400Vモデル		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
電源容量		kVA	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
概略質量		kg	170	320	360	400	500	580	740	820	870