省エネルギー
小型・軽量
耐腐食性材料オプション
N2パージモデル選択可能
異なる周波数(50/60Hz)で同一性能
オイルフリー
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能
独自のロータ設計とアイドリング機能により世界最高レベルの省エネルギーかつ小型化を実現。ランニングコストの削減に貢献します。また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。
型式 | 単位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
排気速度 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
到達圧力 | Pa | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
接続口径 | 吸気口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
排気口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
到達圧力時電力概略値 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
電源 相/電圧/周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | |
400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | - | - | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | ||
電源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
概略質量 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 |
ESA型
水素などの軽ガス排気対応/大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
EV-SA型
排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム
チャンバ排気・排ガス処理プロセスの最適化が可能、統合・管理コストを低減したドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム