省エネルギー
小型・軽量
空冷
低騒音
オイルフリー
異なる周波数(50/60Hz)で同一性能
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能
EV-SA型は、冷却水不要な小型・空冷式ドライ真空ポンプです。設置の自由度が高い小型設計ながら、排気速度最大5,000L/minの大排気量モデルをラインナップ。必要ユーティリティは電源のみ、省エネかつ低騒音を特長とし、生産工場だけでなく実験室や研究室など様々な環境でご使用頂けます。各種分析機器や電子顕微鏡などのクリーンな排気用途に最適です。
型式 | 単位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |
排気速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |
到達圧力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |
接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW40 | NW50 | |
排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
到達圧力時電力概略値 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |
冷却方式 | 空冷 | 空冷 | 空冷 | ||
電源 | 定格電圧 50/60Hz | 単相 200-240V 三相 200-240V |
単相 200-240V 三相 200-240V |
単相 200-240V 三相 200-240V |
|
許容電圧変動 | ±10% | ±10% | ±10% | ||
電源容量 | kVA | 3 | 3 | 3 | |
概略質量 | kg | 65 | 90 | 150 | |
* ガスバラスト使用時 |
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
EMT型/ EBT型
超高真空対応ターボ分子ポンプ