中負荷プロセス対応
高温化制御対応
省エネルギー
耐腐食性材料標準採用
耐腐食性向上オプション
異なる周波数（50Hz/60Hz）で同一性能
オイルフリー
CEマーキング／SEMI-S2／NRTL対応可能
省フットプリント
荏原独自の省エネルギー技術を搭載、自動化工場での製造に最適化されたモジュール設計を採用し、更なる小型化・省エネルギー化を実現した、中負荷プロセス向けドライ真空ポンプです。
ワイドレンジ温度制御により適用プロセスを拡大。複数のプロセスを同一機種でカバーできるため、予備機在庫の最適化、メンテナンスやトレーニングの手間を軽減し、将来的なプロセス拡張にも柔軟に対応可能です。さらに、プロセスごとに最適な温度コントロールによりプロセス耐性の向上を実現、部品の交換周期長期化によりTCoOの削減に貢献します。
対応アプリケーション例：各種エッチング及びCVD、アッシング、イオン注入、エピタキシャル成長など
EV-S型
省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ
EV-M型
省エネルギー・高負荷プロセスに最適なドライ真空ポンプ
EST型
反応副生成物対応、大流量ガス排気が可能なドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム
チャンバ排気・排ガス処理プロセスの最適化が可能、統合・管理コストを低減したドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム