型式	単位	FDS100S	FDS250
処理方式		乾式	乾式
反応槽本数		1	2
反応槽交換検知		標準 : 荷重計 オプション : PFC検知器	標準： PFC検知器
最大流入ガス許容量	L/min	100L/min	250L/min
寸法	W x D x H mm	600×600×2,000mm	1,605×1,000×2,507
処理剤寿命	L/本	CF4 : 3,000	CF4 : 10,000
処理対象ガス		CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 など	CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 など