型式	単位	G5-350 A1~A4/P1~P4	G5-500 A1~A4/P1~P4	G5-600 A1~A4/P1~P4	G5-1200 A1~A4/P1~P4
処理方式		燃焼式＋湿式	燃焼式＋湿式	燃焼式＋湿式	燃焼式＋湿式
最大流入ガス許容量	L/min	350	500	600	1200
燃料		都市ガス／プロパンガス選択	都市ガス／プロパンガス選択	都市ガス／プロパンガス選択	都市ガス／プロパンガス選択
寸法	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 1,100 x 2,000	1,200 x 1,100 x 2,200
処理可能ガス例		プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 など	プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 など	プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 など	プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 など
標準装備品		粉体除去用バーナスクレーパ	粉体除去用バーナスクレーパ	粉体除去用バーナスクレーパ	粉体除去用バーナスクレーパ
オプション		市水・排水使用量削減ユニット	市水・排水使用量削減ユニット	市水・排水使用量削減ユニット	市水・排水使用量削減ユニット