型式	単位	G6 A1~A4	G6 P1~P4
処理方式		燃焼式＋湿式	燃焼式＋湿式
最大流入ガス許容量	L/min	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
燃料		都市ガス	プロパンガス
寸法	W x D x H mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
処理可能ガス例		プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など	プロセス(デポ)ガス SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など
標準装備品		大流量NF3処理バーナー	大流量NF3処理バーナー