型式 単位 G6-E A1~A4 G6-E P1~P4
処理方式 燃焼式＋湿式 燃焼式＋湿式
最大流入ガス許容量 L/min 400 400
燃料 都市ガス プロパンガス
寸法 W x D x H mm 1,200×650×1,900mm 1,200×650×1,900mm
H₂最大処理可能流量 L/min 200 200
処理可能ガス例 プロセス(デポ)ガス
H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、など
クリーニングガス全般
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など
エッチングガス全般
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など		 プロセス(デポ)ガス
H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、など
クリーニングガス全般
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など
エッチングガス全般
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など
標準装備品 大流量H2処理バーナー 大流量H2処理バーナー
粉体除去用バーナスクレーパ 粉体除去用バーナスクレーパ
オプション 市水・排水使用量削減ユニット 市水・排水使用量削減ユニット
粉体排出削減用ファンスクラバー 粉体排出削減用ファンスクラバー