型式	単位	GCR120	GCR250
処理方式		触媒式＋湿式	触媒式＋湿式
最大流入ガス許容量	L/min	120	250
反応槽交換検知		PFC検知器	PFC検知器
寸法	W x D x H mm	1,200×600×1,800mm	1,400×700×1,850mm
処理可能ガス		CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2Oなど	CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2Oなど