型式		単位	G-WS1000
最大処理風量		L/min	1,000
接続流入口数			4
外形寸法		mm	W914×D736×H1,727
用力	水量	L/min	1 - 10
	排水量	L/min	1 - 10
	窒素	L/min	15-50
	電源		1.8-3.5kW, 3相AC 200V(50/60Hz)
	排気ダクト（処理済みガス）		1.5
	排気ダクト （筐体排気）	m3/min	1.3
主な処理可能ガス	Epi		HCl, DCS
	CVD		WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2*
	Etching		BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2*
	Asher		NH3
湿式では処理できないガス			H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc.
＊処理時はお問合せ下さい