高濃度・大流量オゾン水供給
不純物の少ないオゾン水
高い濃度・流量安定性
高信頼性・操作が容易
SEMI-S2／CEマーキング対応可能
OZW型は、高い濃度安定性と流量安定性をもったオゾン水を供給できるオゾン水製造装置です。低汚染加圧ポンプと独自のオゾンガス溶解ノウハウ採用により、不純物の少ないオゾン水を生成可能。オゾン水濃度を常時計測してフィードバック制御をすることにより、安定したオゾン水濃度を保つことができます。さらに、洗浄装置と連動できるよう、運転信号、インターロック信号回路が組み込まれており、メンテナンスも容易です。オゾンガス検知器、オゾンガス無毒化触媒などの安全機器を装備しており、装置の異常発生時には安全に停止させる安全回路も搭載しています。
超高濃度オゾンガス生成可能、小型オゾンガス発生器