型式				RJ-CA1V
冷却能力(50Hz/60Hz)			kW	2.0（-20℃時）3.8(-10℃時)
温度制御範囲			℃	-20~70
温度制御精度			℃	± 0.1
外形寸法（W x D x H）			ｍｍ	370 x 950 x 1100
質量			kg	185(循環液、冷却水含まず)
循環液		使用流体		FC-3283、HT-200　他
		圧送ポンプ能力	L/min	20　(0.76MPa)
冷却水		温度範囲	℃	10～25
安全規格				SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL
電源			V	三相　200～208
運転制御方式				インバータ制御方式
使用冷媒				R744（CO₂　GWP：1）
※仕様はご参考です