型式				RJ-XA1V
冷却能力(50Hz/60Hz)			kW	3.7（10℃時） 6.1(20℃時)
温度制御範囲			℃	5~40
温度制御精度			℃	± 0.1
外形寸法（W x D x H）			ｍｍ	375 x 1050 x 1150
質量			kg	160(循環液、冷却水含まず)
循環液		使用流体		純水、エチレングリコール 他
		圧送ポンプ能力	L/min	20　(0.49MPa)
冷却水		温度範囲	℃	10～25
安全規格				SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL
電源			V	三相　200～208
運転制御方式				インバータ制御方式
使用冷媒				R513A（GWP：629）
※仕様はご参考です