ドライ真空ポンプは半導体・ディスプレイ製造工場、計測・分析機器、各研究機関などで使用されています。半導体・ディスプレイ製造工場では、ドライ真空ポンプは、ほぼ24時間365日連続で稼働しています。
そのため、ポンプには排気性能向上だけでなく、消費電力削減などの省エネルギー化要求が高まっています。荏原では、お客様のニーズに沿った省エネルギー化を実現した製品を開発・提供しています。
また、半導体製造装置は空気中のホコリを減らしたクリーンルーム内に設置します。クリーンルームは、精密な空調を要求するため、広さに応じて高額な維持費用がかかります。
そのため、ドライ真空ポンプの省フットプリント化（設置面積低減）は、重要な課題です。荏原では、ポンプの高速回転による小型化と計装品のレイアウト改善などによって、省フットプリント化を実現しました。
※ 排気速度7000～10000L／minクラスでの比較
※ 棒グラフは消費電力、折れ線グラフはA70W型との比較
※ 〇〇〇型の表記は当社の機種記号です。